Suche

06361


Physik (Master) Sommersemester 2011
06361 Seminar über Niedertemperaturplasmen als industrielle Schlüsseltechnologie [S]
   
Dozent Fantz U., Schreck M.
Dauer 2 SWS
Studiensemester 2
Schein Ja (4 LP)
Termin Di, 15:45-17:15, 2003/HZ
Inhalt Das Seminar befasst sich mit der Relevanz der Niedertemperaturplasmen als industrielle Schlüsseltechnologie in den vielfältigen Einsatzgebieten.
  • Grundlagen der Niedertemperatur-Plasmaphysik
  • Plasmadiagnostik
  • Plasmaprozesstechnik
  • industrielle Anwendungen von Plasmen
Vorkenntnisse Inhalte der Module Plasmaphysik und Plasmadiagnostik wünschenswert
Literatur
  • Vorlesungsskript (EPP Homepage)
  • M. Kaufmann, Plasmaphysik und Fusionsforschung (Teubner, 2003)
  • R .J. Goldstone, P.H. Rutherford, Introduction to Plasma Physics (IOP Publishing, 1995)
  • F .F. Chen, Introduction to Plasma Physics (Plenum Press, New York, 1984)
  • U. Schumacher, Fusionsforschung (Wiss. Buchgesellschaft, Darmstadt, 1993)
  • G. Janzen, Plasmatechnik (Hüthing, 1992)
  • F. F. Chen, Principles of Plasma Processing (Plenum
Publishing, 2004)
  • R. Hippler, Low temperature Plasma Physics (Wiley-VCH, 2001)
  • J. Roth, Industrial Plasma Engeneering (IOP Publishing, 1995)
  • A. Grill, Cold Plasma in Materials Fabrication (IEEE Press, 1993)
Weitere Informationen Bei der Auswahl der Vortragsthemen können die Wünsche der Studierenden berücksichtigt werden.