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06324


Physik Wintersemester 2002/2003
06324 Ionen-Festkörper-Wechselwirkung (A) [WPV]
   
Dozent Lindner
Dauer 2 SWS
Studiensemester 5
Schein Ja
Termin Di, 10:15-11:45, 1003/HZ
Beginn 15.10.02
Inhalt Ionen-Festkörper-Wechselwirkungen sind in sowohl in der Natur als auch in modernen technologischen Prozessen weit verbreitet. Sie bilden die Grundlage zahlreicher Untersuchungsmethoden der Festkörperphysik, sie dienen der Dotierung und (Nano-) Strukturierung von Halbleiterbauelementen, sie werden zur Modifikation moderner Metalloberflächen eingesetzt und sie ermöglichen die Präzisionsbearbeitung beliebiger Materialoberflächen mit atomarer Präzision. Ionenstrahlmethoden werden erfolgreich auch in Bereichen ausserhalb der Physik eingesetzt, wie Medizin, Histologie, Lebensmitteltechnologie Umweltschutz, Archäologie und Kunstgeschichte. Die Vorlesung gibt eine Einführung in die Grundlagen und Anwendungen der Ionen-Festkörper-Wechselwirkung.
Behandelt werden:

  • Erzeugung von Ionen: Ionenquellen, Plasmen, Ionenimplanter, Beschleuniger
  • Untersuchungsmethoden zum Nachweis von Ionen-FK-WW
  • Abbremsung von Ionen und Potenziale
  • Rutherford-Rückstreu-Spektroskopie und andere Ionenstrahlanalysemethoden
  • Stosskaskaden, Strukturelle Änderungen, Unordnung, Strahlenschäden, Amorphisierung
  • Sputtererosion und Sputterdeposition, Ionenstrahlmischen an Grenzflächen
  • Phasen- und Schichtbildung
  • Anwendungen
Die Vorlesung bietet damit die Möglichkeit, sich in ein am Institut für Physik intensiv betriebenes Forschungsgebiet einzuarbeiten.
Literatur
  • J.F. Ziegler: Ion Implantation, Science and Technology
  • E. Rimini: Ion Implantation, Basics to Device Fabrication
  • M. Nastasi: Handbook of Modern Ion Beam Analysis Techniques
  • Ryssel/Ruge: Ionenimplantation
Weitere Literatur wird in der Vorlesung bekanntgegeben/verteilt

Weitere Informationen Bei Interesse wird ein begleitendes Seminar (mit Schein) angeboten, in dem Spezialthemen behandelt werden oder eigene kleine Experimente aus dem Gebiet behandelt werden können.