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06413


Physik Wintersemester 2001/2002
06413 Seminar für Materialien u. Technologien zukünftiger Halbleiterbauelemente [S]
   
Dozent Karl, Schreck, Lindner
Dauer 2 SWS
Studiensemester 5
Schein Ja
Termin Di, 14:15-15:45, 2003/HZ
Inhalt Auf dem Gebiet der elektrischen Bauelemente und Systeme findet eine stürmische Entwicklung statt. Moore´s Law postulierte 1965, dass sich alle 18 Monate die Zahl der Transistoren pro integriertem Schaltkreis verdoppelt und gilt im wesentlichen bis heute. Dies ist aber nur ein Aspekt neben vielen anderen. So macht die Verringerung der Betriebsspannungen und Steigerung der Taktfrequenzen den Ersatz von Siliziumoxid erforderlich, oder der Wunsch nach höheren Betriebstemperaturen den Einsatz von Wide-Band-Gap-Materialien (SiC, Diamant) notwendig. Leichte und flexible Bauelemente können mit organischen Halbleitern realisiert werden. Irgendwann wird natürlich auch die Verkleinerung der Bauelemente eine physikalische Grenze haben und neue Bauteilkonzepte verlangen. Um ein besseres physikalisches Verständnis dieser Entwicklungen zu erlangen, sollen im Rahmen dieses Seminars folgende Themen diskutiert werden:

Materialien: low-k, high-k Dielektra; Metallisierung Aluminium-Kupfer / Kupfer; Wide-band-gap-Halbleiter; Organische Halbleiter / Organische LED

Neue Bauteilkonzepte: Nanotubes; Single-Electron-Transistor

Technologien: Lithografie und Strukturierung; Dotierung; Schichtwachstum und Epitaxie; Einkristallzucht; Packaging

Vorkenntnisse 1. Vorlesung Festkörperphysik 1 und 2 (wünschenswert aber nicht unabdingbar);

2. Halbleiterphysik (wünschenswert aber nicht unabdingbar)

Literatur S.M. Sze, "Semiconductor Technology", John Wiley & Sons;

S.M. Sze; "Physics of Semiconductor Devices", John Wiley & Sons;

weitere Literatur wird im Seminar angegeben