Suche

06387


Physik Sommersemester 2004
06387 Seminar über Niedertemperaturplasmen als industrielle Schlüsseltechnologie (A) [SB]
   
Dozent Behringer K., Fantz U., Schreck M.
Dauer 2 SWS
Studiensemester 6
Schein Ja
Termin Di, 16:00-17:30, 2003/HZ
Beginn 20.04.2004
Inhalt Themen des Seminars sind Grundlagen, die Diagnostik und die Anwendung von technologisch relevanten Plasmen (Niederdruckplasmen): Grundlagen:
  • Plasmaerzeugung
  • Physik der Niedertemperaturplasmen
  • Einsatzbereiche von Plasmen in der Plasmatechnologie
  • Mechanismen der Plasma-Wand-Wechselwirkung
Diagnostik:
  • Methoden der Plasmadiagnostik
  • Parameterkontrolle bei Schichtabscheidung
  • Plasmamodellierung, Plasmakinetik und Oberflächen
Anwendungen:
  • Plasma-CVD Verfahren
  • Plasmaätzen
  • Abscheidung superharter Materialien
  • Plasmalampen, Plasmadisplays
  • Plasmasterilisation
  • Gepulste Plasmen
Zum Abschluss des Seminars finden Laborvorführungen sowie Laborbesichtigungen am Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik und am Lehrstuhl für Experimentalphysik statt. Desweiteren werden mögliche Themen für FP, Teil B, Diplomarbeiten sowie Zulassungsarbeiten an diesen Lehrstühlen vorgestellt.
Vorkenntnisse Plasmaphysik wünschenswert.
Literatur Die Literatur wird zu Beginn des Seminars angegeben.
Weitere Informationen Die Themengebiete werden zu Beginn des Seminars kurz vorgestellt.