Universität Augsburg
Lehrstuhl
für Experimentalphysik IV
Diamant-Aktivitäten an der Universität Augsburg
(Diamond activities at the University of Augsburg)
{111} Röntgenpolfigur eines epitaktischen Diamantfilms auf
Si(001)
{111} Pole figure of a thin epitaxial diamond film on Si(001)
Prof. Dr. Bernd Stritzker
Dr. Matthias Schreck
Lehrstuhl für Experimentalphysik IV
Institut für Physik
Universität Augsburg
D-86135 Augsburg
Tel: ++49 - 821 598-3402 (Sekretariat)
Fax: ++49 - 821 598-3425
Mitarbeiter (Staff)
Ehemalige (noch halb im Dienst)
Arbeitsgebiet (Field of Work)
- Epitaktische Keimbildung und Wachstum von Diamantschichten
auf Einkristallsubstraten (Epitaxial nucleation and growth of
diamond films on single crystalline substrates)
- Mechanismen der Gleichspannungs-unterstützten
Keimbildung (Mechanisms of the in-situ bias enhanced nucleation
process)
- Untersuchung
der dünnen Diamantschichten mittels Röntgenbeugung sowie
verschiedener
Mikroskopietechniken (Characterization of thin diamond films by
XRD, SEM, AFM, TEM)
- Dotierung der Diamantfilme während des Wachstums (Doping
of diamond films during CVD growth)
- Homoepitaktisches Wachstum mit hohen Raten (High growth
rate homoepitaxial diamond deposition)
Abscheideverfahren (Deposition method)
- Chemische Gasphasenabscheidung im Mikrowellenplasma
(Microwave plasma chemical vapor deposition)
Untersuchungsmethoden (Characterization methods)
- Röntgenbeugung (X-ray diffraction pole figure
measurements, XRD, High-resolution XRD))
- Mikroramanspektroskopie (Micro-Raman spectroscopy)
- Rasterkraftmikroskopie, Rasterelektronenmikroskopie,
Transmissionselektronenmikroskopie (Atomic force microscopy AFM,
scanning electron microscopy SEM, transmission electron microscopy TEM)
- Rutherford-Rückstreuspektroskopie und
Ionenchanneling (Rutherford backscattering spectrometry and
Channeling)
Aktuelle Fortschritte im Bereich der Abscheidung orientierter
Schichten
(Recent progress in heteroepitaxy):
Abbildung: Entwicklung der Struktur dünner
Diamantschichten auf verschiedenen Substraten
Figure: Structural development of thin diamond films
for
different substrates
Deutliche Reduzierung der Fehlorientierung durch
Abscheidung der Diamantschichten auf Iridium
(Strong reduction of mosaicity for deposition on
iridium buffer
layers)
Referenz: M. Schreck, H. Roll, and B.
Stritzker:
Diamond / Ir / SrTiO3: A material combination for improved
heteroepitaxial diamond films;
Appl. Phys. Lett. 74 (1999) 650.
Abbildung: Transformation von polykristallinen in
einkristalline
Diamantschichten
Figure: (Polycrystalline films can be transformed into
single
crystal layers)
Referenz: M. Schreck, F. Hörmann,
H.
Roll, J.K.N. Lindner, and B. Stritzker:
Diamond Nucleation on iridium buffer layers and subsequent textured
growth:
a route for the realization of single-crystal diamond films;
Appl. Phys. Lett. 78 (2001) 192.
Abbildung: Realisierung der Schichten auf Silizium durch die
Schichtfolge:
Diamant/Ir/YSZ/Si
Figure: Realization of high quality epitaxial diamond on Si by the
layer
sequence: Diamant/Ir/YSZ/Si
Referenz: S. Gsell, T. Bauer, J.
Goldfuß,
M. Schreck, B. Stritzker:
A route to diamond wafers by epitaxial
deposition on
silicon via iridium/yttria stabilized
zirconia buffer layers;
Appl. Phys. Lett. 84 (2004) 4541.
Die trinationale (Deutschland - Österreich -
Schweiz)
Kooperation im Bereich
superharter Materialien (abgeschlossen 2000)
(The trinational (Germany - Austria - Switzerland) cooperation on
the
synthesis of superhard materials, finished 2000)
URL zu einer Sammlung interessanter Diamantseiten
(A Link to a collection of interesting diamond pages: Paul May's page)
http://www.chm.bris.ac.uk/pt/diamond/
Open PhD position for a
foreign
student available from Nov. 2004:
- Marie-Curie Research Training Network (EU Project):
- Diamond Research on Interfaces for Versatile
Electronics
- a cooperation of 12 European partners (S, UK, F, D, B, Pl, CZ)
- a 3 year PhD position at the University of Augsburg
- topic: diamond nucleation, microscopic studies, single crystal
diamond
growth on iridium
- applications to: Dr. Matthias Schreck Matthias.Schreck@Physik.Uni-Augsburg.DE
Matthias
Schreck, September 2004