Hier sind die Verhältnisse noch komplizierter, da die Diffusionskoffizienten der Legierungselemente im Oxid unterschiedlich sein können. Dadurch kann die Legierung ihre Zusammensetzung ändern, was wieder durch Volumendiffusion ausgeglichen werden muß.
Dies kann z.B. zu einer Instabilität der Grenzfläche 
(hier sei angenommen, daß nur das eine Metall das Oxid bildet)
führen, falls der Konzentrationsausgleich in der Legierung zu
langsam ist: unterhalb der Grenzfläche Metalloxid/Metall findet
eine Anreicherung an 
-Atomen statt. Ragt nun an einer Stelle das Oxid
weiter in das Metall hinein, so liegt dort mehr 
vor, die Oxidation
wird dort beschleunigt und die räumliche Fluktuation der Schicht
verstärkt sich.