In diesem Abschnitt sollen die bisher immer stillschweigend vorausgesetzten atomaren Transportvorgänge im Festkörper genauer untersucht werden. Nach den Grundgleichungen der Diffusion werden atomare Mechanismen behandelt, insbesondere der wichtigste über Leerstellen, danach Korngrenz- und Versetzungsdiffusion, schließlich andere Transportvorgänge wie Elektrotransport undThermotransport. Eine große Rolle spielt Diffusion auch bei Oxidation und Korrosion, die am Schluß behandelt werden.