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06356


Physik (Master) Wintersemester 2011/2012
06356 Seminar über Niedertemperaturplasmen als industrielle Schlüsseltechnologie [S]
   
Dozent Fantz U., Schreck M.
Dauer 2 SWS
Studiensemester 0
Schein Ja (4 LP)
Termin Di, 15:45-17:15, 2003/T
Beginn 18.10.2011
Inhalt Das Seminar befasst sich mit der Relevanz der Niedertemperaturplasmen als industrielle Schlüsseltechnologie in den vielfältigen Einsatzgebieten.

  • Grundlagen der Niedertemperatur-Plasmaphysik
  • Plasmadiagnostik
  • Plasmaprozesstechnik
  • industrielle Anwendungen von Plasmen
Vorkenntnisse Inhalte der Module Plasmaphysik und Plasmadiagnostik wünschenswert
Literatur
  • Vorlesungsskript (EPP Homepage)
  • M. Kaufmann: Plasmaphysik und Fusionsforschung (Teubner, 2003)
  • R. J. Goldstone, P. H. Rutherford: Introduction to Plasma Physics (IOP Publishing, 1995)
  • F. F. Chen: Introduction to Plasma Physics (Plenum Press, New York, 1984)
  • U. Schumacher: Fusionsforschung (Wiss. Buchgesellschaft, Darmstadt, 1993)
  • G. Janzen: Plasmatechnik (Hüthing, 1992)
  • F. F. Chen: Principles of Plasma Processing (Plenum Publishing 2004)