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06361


Physik (Master) Wintersemester 2009/2010
06361 Seminar über Niedertemperaturplasmen als industrielle Schlüsseltechnologie [SB]
   
Dozent Fantz U., Schreck M.
Dauer 2 SWS
Studiensemester 1
Schein Ja (Vortrag; 4 LP)
Termin Di, 15:45 - 17:15, 2003/T
Inhalt
  • Grundlagen der Niedertemperatur-Plasmaphysik
  • Plasmadiagnostik
  • Plasmaprozesstechnik
  • industrielle Anwendungen von Plasmen
Literatur
  • Vorlesungsskript (EPP Homepage)
  • M. Kaufmann, Plasmaphysik und Fusionsforschung, Teubner 2003
  • R.J. Goldston, P.H. Rutherford, Introduction to Plasma Physics Institute of Physics, Publishing Bristol and Philadelphia 1995
  • F.F. Chen, Introduction to Plasma Physics, Plenum Press, New York 1984
  • U. Schumacher, Fusionsforschung, Wiss. Buchgesellschaft, Darmstadt 1993
  • G. Janzen, Plasmatechnik, Hüthing 1992
  • F.F. Chen, Principles of Plasma Processing, Plenum Pubishing 2004
  • R. Hippler, Low temperature Plasma Physics, Wiley-VCH 2001
  • J. Roth, Industrial Plasma Engeneering, IOP Publishing 1995
  • A. Grill, Cold Plasma in Materials Fabrication, IEEE Press 1993

Weitere Informationen Mögliche Themen werden zu Beginn des Seminars vorgestellt. Vorkenntnisse durch die Vorlesung Plasmaphysik I sind wünschenswert.