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06374


Physik (Master) Sommersemester 2012
06374 Seminar über Niedertemperaturplasmen als industrielle Schlüsseltechnologie [S]
   
Dozent Fantz U., Schreck M.
Dauer 2 SWS
Studiensemester 0
Schein Ja (4 LP)
Termin Di, 15:45-17:15, 2003/T
Beginn 17.04.2012
Inhalt Das Seminar befasst sich mit der Relevanz der Niedertemperaturplasmen als industrielle Schlüsseltechnologie in den vielfältigen Einsatzgebieten.
  • Grundlagen der Niedertemperatur-Plasmaphysik
  • Plasmadiagnostik
  • Plasmaprozesstechnik
  • industrielle Anwendungen von Plasmen
Vorkenntnisse Inhalte der Module Plasmaphysik und Plasmadiagnostik wünschenswert

Literatur
  • Vorlesungsskript (EPP Homepage)
  • M. Kaufmann, Plasmaphysik und Fusionsforschung (Teubner, 2003)
  • R. J. Goldstone, P. H. Rutherford, Introduction to Plasma Physics (IOP Publishing, 1995)
  • F. F. Chen, Introduction to Plasma Physics (Plenum Press, New York, 1984)
  • U. Schumacher, Fusionsforschung (Wiss. Buchgesellschaft, Darmstadt, 1993)
  • G. Janzen, Plasmatechnik (Hüthing, 1992)
  • F. F. Chen, Principles of Plasma Processing (Plenum Publishing, 2004)