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06332


Physik Wintersemester 2002/2003
06332 Physik und Technologie von Halbleiterbauelementen (A) [WV]
   
Dozent Wixforth
Dauer 3 SWS
Studiensemester 5
Schein Ja (Klausur, Übungen)
Beginn 16.10.2002
Inhalt
  • Grundlagen der Halbleiterphysik
Kristallstruktur, Bandstruktur wichtiger Halbleiter
Ladungsträger im thermischen Gleichgewicht
Ladungstransport
Thermische und optische Eigenschaften
Nichtgleichgewichteffekte

  • Methoden der Planartechnologie
Kristallzucht und Epitaxie
Oxidation und Lithografie
Dotierung und Kontaktierung
Gesamtprozess
Reinräume

  • Volumenbauelemente
Der p-n-Kontakt
Hochfrequenz- und optische Bauelemente
Bipolartransistor
Junction-Field-Effect-Transistor

  • Grenzflächenbauelemente
Schottky-Kontakte
MOS-Diode
Metal-Oxid-Semiconductor Feldeffekttransistor (MOSFET)
Begleitend 06333
Vorkenntnisse Für Studenten nach dem Vordiplom
Elektronik, Festkörperphysik empfehlenswert, aber nicht notwendig
Literatur S.M. Sze: "Semiconductor Devices - Physics and Technology"
S.M. Sze: "Physics of Semiconductor Devices"

Weitere Literaturangaben in der Vorlesung

Weitere Informationen Die Vorlesung wird im SS 2003 gefolgt und ergänzt von "Physik und Technologie von (Halbleiter-)Nanostrukturen".