Suche

06392


Physik Wintersemester 2001/2002
06392 Seminar über Niedertemperaturplasmen als industrielle Schlüsseltechnologie [SB]
   
Dozent Behringer, Fantz, Schreck, Stritzker
Dauer 2 SWS
Studiensemester 7
Schein Ja
Termin Di, 16:00-17:30, 2003/HZ
Inhalt Themen des Seminars sind die Grundlagen, die Diagnostik und die Anwendungen von technologisch relevanten Plasmen (Niederdruckplasmen):

Diagnostik:

  • Plasmaphysikalische Grundlagen
  • Sondendiagnostik
  • Spektroskopische Diagnostikmethoden
  • Interpretation von Molekülbanden
  • Messungen von Teilchendichten
  • Plasmamodellierung
Anwendungen:
  • Plasmaätzen
  • Chemische Abscheidung aus dem Plasma (PASCVD)
  • Abscheidung superharter Materialien
  • Plasmaimmersionsionenimplantation in Metallen und Halblleitern
Zum Abschluss des Seminars finden Laborvorführungen sowie Laborbesichtigungen am Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik und an Lehrstuhl für Experimentalphysik IV statt. Desweiteren werden mögliche Themen für FP, Teil B, Diplomarbeiten sowie Zulassungsarbeiten an diesen Lehrstühlen vorgestellt.

Vorkenntnisse Plasmaphysik wünschenswert
Literatur Die Literatur wird zu Beginn des Seminars angegeben.

Weitere Informationen Die Themengebiete werden zu Beginn des Seminars kurz vorgestellt.