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06389


Physik Sommersemester 2003
06389 Seminar über Niedertemperaturplasmen als industrielle Schlüsseltechnologie [SB]
   
Dozent Behringer, Fantz, Schreck
Dauer 2 SWS
Studiensemester 6
Schein Ja
Termin Di, 16:00-17:30, 2003/HZ
Inhalt Themen des Seminars sind Grundlagen, die Diagnostik und die Anwendungen von technologisch relevanten Plasmen (Niederdruckplasmen): Diagnostik:
  • Plasmaphysikalische Grundlagen
  • Sondendiagnostik
  • Spektroskopische Diagnostikmethoden
  • Interpretation von Molekülbanden
  • Messung von Teilchendichten
  • Plasmamodellierung
Anwendungen:
  • Plasmaätzen
  • Chemische Abscheidung aus dem Plasma (PACVD)
  • Abscheidung superharter Materialien
  • Plasmaimmersionsionenimplantation in Metalle und Halbleiter
Zum Abschluss des Seminars finden Laborvorführungen sowie Laborbesichtigungen am Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik und am Lehrstuhl für Experimentalphysik statt. Desweiteren werden mögliche Themen für FP, Teil B, Diplomarbeiten sowie Zulassungsarbeiten an diesen Lehrstühlen vorgestellt.

Vorkenntnisse Plasmaphysik wünschenswert.
Literatur Die Literatur wird zu Beginn des Seminars angegeben.
Weitere Informationen Die Themengebiete werden zu Beginn des Seminars kurz vorgestellt.