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Dünne Filme und Heterostrukturen aus Oxiden


Wir stellen am Lehrstuhl epitaktische Filme und Heterostrukturen mit Hilfe verschiedener Dünnschichtmethoden wie beispielsweise der gepulsten Laserablation, Sputtern oder Verdampfen her. Mit diesem Spektrum an Syntheseverfahren sind wir in der Lage eine Vielfalt an verschiedenen Materialsystemen mit der Präzision auf atomaler Skala zu fertigen.

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Photographie unserer gepulsen Laserablationsanlage (PLD)

Ein besonderes Augemerk liegt auf der Untersuchung von Grenzflächen in oxidischen Heterostrukturen, die außergewöhnliche Eigenschaften wie beispielsweise supraleitende Transporteigenschaften zeigen. Solche Grenzflächen zeigen oftmals auch neuartige elektronische Phasen, die so im Volumen der beteiligten Materialien gar nicht auftreten.

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Photographie eines mittels optischer Lithographie prozessierten Oxidfilms

Neben der Röntgenanalyse und Charakterisierung mittels Rastersondenmikroskopen können die hergestellten Dünnfilmsysteme im Weiteren sowohl mittels optischer Lithographie als auch mittels Elektronenstrahllithographie strukturiert werden, um präsize deren elektronischen wie magnetischen Eigenschaften in weiten Temperatur- und Magnetfeldbereichen zu untersuchen.

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Blick in unseren Reinraum mit Gerätschaften zur optischen Lithographie