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Laboreinrichtung


Folgende Einrichtung und Geräte werden bei uns eingesetzt:

 
Reinraum
Klasse 1000, Nutzfläche ca. 100 m2
  • Aufdampfanlagen
  • Ionenstrahlätzanlage
  • Plasmaätzanlage
  • Oxidationsanlage
  • Reaktive Ionenätzanlage
  • Wetbenches
    • Lackschleuder
    • Trockenöfen
  • Maskenbelichtungsanlage
  • Oberflächenprofilometer
  • Kritischer Punkttrockner
    • Nassätzen von NEMS-Strukturen
  • FE-Rasterelektronenmikroskop (in Planung)

Chemie/Biologie

  • Biophysik
  • Makromolekulare Präparation
  • Ultrazentrifugen
  • Ultraschall-Homogenisator
  • Handschuhbox
  • Filmwaage

Optische Untersuchungen

  • Fluoreszenzmikroskope
  • Lumineszenzmessplätze

Strukturuntersuchungen

  • Röntgendiffraktometer
  • Transmissionselektronenmikroskop (TEM)

Thermische Analyse

  • Differentialkalorimeter (DSC)
  • Hochtemperatur-DSC (SETARAM)

 

Mechanische Eigenschaften
  • Materialprüfmaschinen
    • Instron
    • Zwick
  • Härteprüfer

Magnetische Untersuchungen

  • Tieftemperaturmessplätze
  • Kerrmessplatz
  • Förstersonde

Probenpräparation

  • Lichtbogenofen
  • Kugelmühle
  • Handschuhbox
  • Walze
  • Ionen-Poliersystem
  • Elektrolytische Dünnung
  • Mechanische Dünnung

Hochfrequenzmessplätze
Frequenzen bis 20 GHz

  • Abschirmkabine

Mikrofluidikmessplätze

  • Videomikroskope
  • PC-gesteuerte 3-Achsen Fräsmaschine
    zur Herstellung fluidischer Kleinteile